常用的化學去污工藝有：浸泡法、循環(huán)沖洗法、可剝離膜去污法、泡沫去污法和化學凝膠去污法等。

（1）浸泡法：使去污劑充滿浸泡系統不進行循環(huán)。適用于系統的循環(huán)泵、某段回路沒有被污染而必須與污染溶劑隔離、或部分系統必須向某種特殊的腐蝕性溶劑隔離時。浸泡時可以輔以攪拌和加熱，提高去污效果。

（2）循環(huán)沖洗法：用水和去污劑的混合物充滿系統，或將化學試劑直接加入充滿水的系統強制循環(huán)。適用于系統管道和設備的去污。

（3）可剝離膜去污法：把聚合物的混合物涂到已污染的表面，使污染物被包含在聚合物中固化，再將污染的聚合物層剝離下來送去處置的新型去污工藝。適用于光滑的塑料或金屬表面。

（4）泡沫去污法：利用諸如洗滌劑和潤濕劑產生的泡沫作為化學去污劑的載體去污。適用于金屬表面和復雜形狀的大體積核部件去污，不適用于有深或錯綜復雜的裂隙的表面。

（5）化學凝膠去污法：化學凝膠用作化學去污劑的栽體，噴或刷涂在部件表面，凝固后即可進行洗滌、擦拭、沖洗或剝離。適用于去污劑與污染表面長時間接觸的情況。